公司简介
PVD型真空气相沉积装置简介 绵阳西磁科技有限公司，成立于1994年1月，位于风景秀丽的绵阳国家高新技术开发区，占地面积40000平方米，建筑面积18000平方米，注册资本1567.5万元。是中国电子科技集团公司电子九所全资子公司，是我国磁学领域的综合性应用磁学研究机构。 公司拥有雄厚的技术力量和丰富生产设计经验，在真空铸片快淬.真空烧结和退火及真空气相沉积(CVD),磁选除铁和选矿,合金制粉、制粒等装备的设计、制造方面具有独特优势。公司的产品性能可靠，运行稳定，操作简便，维修方便，节能省电，工作效率高，深受用户的信赖 PVD型真空气相沉积装置外型见上图 一、概述 ParyLene材料，属于一种具有完全线性结构的高分子聚合物。PARYLENE表面涂敷采用一种特殊的化学气相沉积工艺（CVD ），整个反应过程在真空条件下进行,工作原理:晶体粉料→加热气化→加热裂解→活性中间体→气相沉积。PVD型真空气相沉结装置就是根据PARYLENE材料的化学特性与工程应用要求设计的，具有手动/自动工作方式，自动化程度高，操作简单。其涂层具有厚度均匀、同形性好、无针孔、绝缘强度高、介电损耗小、无残余应力、热稳定性好，具有耐化学、霉菌和细菌侵蚀、机械性能好等优点。可广泛应用于电子、机械、医疗器械等行业，尤其适合磁性材料行业的防腐和绝缘。 二、主要技术指标 1、工作室容积 φ448mm×700mm 2、处理量 ≥30 公斤/炉 3、粉料仓容积 φ145mm×300mm 4、粉料仓加热温度 0～250℃ 5、辅助加热温度 0～180℃ 6、仓门加热温度 0～250℃ 7、裂解炉工作温度 0～800℃ 8、冷阱工作温度 ≤-70℃ 9、真空度 4×10-1 Pa 11、料架旋转速度（连续可调） 3～15r/min 12、工作方式 手动/自动 注：1）气相沉积料粉可用C粉和N粉及D粉叁种，目前国产N粉价格为每公斤550-600元左右；以每炉处理30公斤计，根据不同工艺和产品，需用料粉350-450克，即每处理一公斤产品需要12-15克料粉。 中国西南应用磁学研究所 绵阳西磁科技有限公司 地址：四川省绵阳市高新区火炬西街北段81号 电话：0816-2635343，13890184761（杨云冬）
