公司简介
2016.6.16在深圳市南山区科技园成立，并同时建立毫米波实验研究平台。进行等离子设备、定制射频、芯片测试部件、系统相关研发； 发展历程 2016.6.16在深圳市南山区科技园成立，并同时建立毫米波实验研究平台。进行等离子设备、定制射频、芯片测试部件、系统相关研发； 2017.1 进驻南山区科技园虚拟大学园，进行射频源、等离子腔体/真空室研发；毫米波实验测试平台、定制射频、芯片测试部件、系统开始对外销售； 2018.6. 建成等离子腔体、气体分配器、气体调节器、真空泵、射频功率源等实验测试环境，进行整机的功能测试及研发； 2019.1 立项等离子10000W射频功率源部件研发； 2019.6 立项等离子设备整机研发；
